高精度な照準は角度測定の基準であり、測定精度を決定し、精密測定分野で重要な役割を果たしています。照準過程でスポットの歪みによりピーク光強度点とエネルギー重心が分離し、照準精度に影響を及ぼす問題に対して、高精度差動整列動的角度測定照準誤差抑制技術を提案します。検出器前に二重スリット絞りを追加してスポットを整形・フィルタリングし、二つの光強度信号を取得して、二つの信号の差分演算により誤差分離と信号補償を実現します。差動整列光強度応答曲線のゼロ交差点の高感度に基づき、正確なスポット位置決定を得て、スポット歪みが照準精度に与える影響を排除します。理論解析と予備実験結果は、本技術がスポット歪みに起因する照準誤差を効果的に抑制できることを示しており、照準再現性は0.03″に達し、角度測定精度は0.1″に到達します。既存の重心位置決定技術と比較して、本技術は照準再現性に優れ、角度測定精度が高く、高精度な動的レーザー角度測定システムに実用的な技術方案を提供します。

角度測定;四象限検出器;照準誤差;差動整列;動的角度測定