摘要
縞カウント法によるレーザー自己干渉変位測定の分解能を向上させるために、二波長単一縦モードイッテルビウムドープドファイバーレーザー自己干渉微小変位測定システムを設計した。このシステムは位相が逆の二つの自己干渉信号を出力でき、最適閾値法で分割し、λ/8の分解能を持つ計数可能な特徴点を得て、三次スプライン補間法により測定変位を再構成する。二波長単一縦モードイッテルビウムドープドファイバーレーザー自己干渉特性および微小変位測定誤差を検討した。実験結果は、測定対象ミラーが周波数3~9 Hz、振幅2~11 μmの範囲で周期振動するとき、微小変位測定誤差が96~105 nmの範囲で変化し、平均測定誤差は100.2 nm、平均相対誤差は1.98%であることを示した。この二波長単一縦モードイッテルビウムドープドファイバーレーザー自己干渉微小変位測定システムの設計は簡単で実現可能であり、広い応用可能性を有する。
关键词
ファイバーレーザー;レーザー自己干渉;二波長単一縦モード;縞分割;微小変位測定
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