摘要
先進装備の製造や複雑な光学機器には、2つの鏡面を持つ物体の一種が存在し、両作業面の法線間の角度が大きく、全体の三次元面形測定が困難である。位相偏折法を用いてそれぞれの作業面を測定する際、測定データは異なる座標系にあり、統一された実体基準が欠如しているため、両面の対応関係を特定することが困難である。この問題は両側の点群の座標統一と後続の連結精度に直接影響し、二重鏡面の全体的な面形再構成に制約を与える。そこで、本論文ではサブシステム校正工程で形成された仮想参照面を用いて仮想基準を構築し、多姿勢平面鏡の位相再構成結果とターンテーブル座標系の制約を組み合わせて、2つの仮想参照面間の空間変換関係を特定し、二重鏡面の測定データを統一する仮想基準校正法を提案する。実験結果は、提案した校正法が二重鏡面点群の連結を完遂できることを示しており、右側面の標準平面に対する二乗平均平方根誤差は0.059 mmであり、二重鏡面物体の全体的な三次元面形再構成を実現した。
关键词
位相偏折測定法;二重鏡面物体;仮想基準校正;鏡面形状
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