摘要
三次元ナノ計測ヘッドは、微小ナノ三次元測定機の重要な部品です。既存の三次元ナノ計測ヘッドは測定性能が不十分であり、実際のニーズを満たせない問題があるため、静電容量変位センサーに基づく三次元ナノ計測ヘッドを提案し、実験によりその性能を検証しました。この計測ヘッドは主に静電容量変位センサー、極板、弾性機構、プローブなどで構成されています。3つの高精度静電容量変位センサーは正三角形に配置され、構築された幾何学計算モデルを用いて測定球の変位を計算し、計測ヘッドの姿勢を得ます。実験結果は、計測ヘッドの三次元分解能が3 nmより優れており、水平方向の測定範囲は260 μm、垂直方向は70 μmに達し、水平方向の接触再現性は9.4 nmより優れ、垂直方向は8.7 nmより優れています。研究は、微小ナノスケールの測定において本計測ヘッドの優れた測定性能を検証し、精密製造と検査に有効な技術支援を提供しました。
关键词
微小ナノ計測;三次元測定機;接触式プローブ;容量センサー
以上内容由讯飞翻译自动生成，翻译内容仅供参考。对于因使用本网站翻译内容产生的相关后果，本网站不承担任何商业和法律责任。
The above content is generated by Large Model Translation. The translated content is for reference only. We do not assume any commercial or legal responsibilty for any consequences arising from the use of our website