スプライス検出器の焦平面の平坦度検査問題に対して、共架並列式の二重プローブ測定システムを開発した。このシステムに存在するシステム誤差に対し、多姿勢ロバスト分解誤差補償モデルを提案し、本測定システムの高精度な平坦度検査能力を実現した。まず、共架並列式二重プローブ測定構造における誤差伝達メカニズムを解析した。次に、システム誤差を機器座標系で固定し、校正鏡面形状を鏡面座標系で固定した空間不変差を利用して多姿勢ロバスト分解誤差補償モデルを構築し、差分測定結果をシステム誤差場、校正鏡面形状および姿勢ドリフト項に分解し、多姿勢の平行移動および反転測定によりシステム誤差の校正と補償を実現した。実験結果は、Luphoscanの高精度測定結果を参照真値とし、補償後に元の差分場の全体的なスロープと周期的な縞模様誤差が明らかに抑制されたことを示した。定量評価では、本手法の残差PV、RMSEおよびMAEはそれぞれ4.400、0.560、0.446μmであり、LightGBMなどと比較して優れていた。同時に、X方向のトレンド低減率は97.82%、Y方向の周期低減率は85.85%に達した。提案した誤差補償モデルは、共架並列式二重プローブ測定システムにおける固定システム誤差を効果的に分離・補償でき、スプライス検出器の焦平面平坦度の高精度検査を実現する有効な方法を提供する。

光学検査;スプライス検出器;差分測定;平坦度検査;システム誤差補償