자기 유변학적 연마 후 부품 표면의 "혜성꼬리 형 결함" 생성 및 진화 메커니즘을 연구하기 위해 본 논문은 석영 유리를 샘플로 사용하였으며, 자기 유변학적 연마 시 연마액 내 연마 입자 농도와 수분 함량이 혜성꼬리 형 결함에 미치는 영향을 분석하였다. 연구 결과, 혜성꼬리 형 결함의 생성은 부품 표면에 존재하는 원래 결함과 관련이 있으며, 결함 부위에서 연마 입자의 축적이 원래 결함이 혜성꼬리 형 결함으로 변하는 주요 원인임을 나타냈다. 연마 입자 농도가 증가함에 따라 원래 결함 부위에서의 입자 축적이 뚜렷해지고 생성되는 혜성꼬리 형 결함의 수가 증가하였다; 그러나 수분 함량이 증가함에 따라 연마액의 유동성이 향상되어 결함 부위에서의 입자 축적 효과가 감소하고 혜성꼬리 형 결함의 발생 수가 감소하였다. 자기 유변학적 연마 과정에서 원래의 함몰 결함은 먼저 혜성꼬리 형 결함으로 진화하며, 혜성꼬리 형 결함 머리 부분의 함몰 깊이는 원래 결함에 비해 처음에는 증가했다가 감소하는 경향을 보였다; 반면, 함몰 가장자리 각도는 연마가 진행됨에 따라 단조롭게 증가하여 결함이 완전히 제거될 때까지 지속되었다. 본 연구 결과는 자기 유변학적 연마 중 부품 표면 혜성꼬리 형 결함 생성을 억제하는 이론적 기반을 제공하여, 향후 혜성꼬리 형 결함 제어를 위한 연마액 및 공정 최적화 방법 연구에 기여할 것이다.

광학 가공; 자기 유변학적 연마; 혜성꼬리 결함; 축적 효과; 석영 유리