초소형 GRIN 광섬유 프로브 기반 F-P 간섭계 진동 측정 실험 시스템을 구축하였으며, 고정밀 나노이동대상을 측정 진동체 목표로 사용하였다. 초소형 GRIN 광섬유 프로브 기반 집적형 F-P 간섭계의 작동 성능을 분석한 기초 위에 측정 진동체의 미세 진동을 다회 실험 측정하였고, 실험 측정 데이터를 수집하여 해당 집적형 F-P 간섭계의 실험 성능을 분석하였다. 실험 결과는 주어진 실험 조건 하에서 이 F-P 광섬유 간섭계가 진폭 200~300 nm 구간에서 성능 지표가 우수하며, 최소 선형도는 0.42%, 대응 감도는 7.507 V/μm, 최대 반복성 표준편차는 0.232 V임을 보여준다; 10~100 nm 및 350~500 nm 구간에서도 간섭계 진동 측정 시스템의 반복성이 우수하며 표준편차가 0.102 V 미만이다. 이 F-P 간섭계 시스템은 미세 진동 측정의 가능성을 가지고 있으며, 미세 진동 및 변위 등의 정밀 측정 분야에 응용될 전망이다.

광섬유 센서; F-P 간섭계; 초소형 광섬유 프로브; 미세 진동 측정