원통형 마이크로 렌즈 배열의 정밀 연삭

YE Zhen ,  

YAO Peng ,  

YU Shi-meng ,  

ZHANG Xian-peng ,  

HUANG Chuan-zhen ,  

摘要

원통형 마이크로 렌즈 배열의 가공은 높은 정밀도를 요구하며 가공 효율이 낮습니다. 미세 윤곽 구조를 가진 성형 연삭휠을 사용한 연삭 가공은 가공 효율을 크게 향상시킬 수 있습니다. 성형 연삭휠로 가공한 공작물의 면형 오차와 표면 거칠기를 예측하기 위해 성형 연삭휠 연삭 시뮬레이션 모델을 구축했습니다. 필터링 방법을 통해 미세 구조 성형 연삭휠의 입자 돌출 높이의 왜도 분포 특성을 분석 및 시뮬레이션하였고, 측정된 연삭휠의 윤곽 및 편심을 결합하여 전체 공간 연삭휠을 재구성했습니다. 또한 연삭휠 표면 입자의 연삭 운동학 모델을 구축하여 가공 후 공작물 표면 형상을 시뮬레이션했습니다. 마지막으로 연삭 실험을 통해 시뮬레이션 모델의 유효성을 검증했습니다. 시뮬레이션과 실험 결과를 비교한 결과, 면형 오차 PV 값 편차는 5.78%, R_a 값 편차는 17.3%, R_z 값 편차는 12.9%였습니다. 이 연삭 시뮬레이션 모델은 연삭 표면의 면형 오차와 표면 거칠기를 효과적으로 예측할 수 있습니다.

关键词

정밀 연삭; 원통형 마이크로 렌즈 배열; 연삭 표면 시뮬레이션; 연삭휠 모델링; 성형 연삭휠

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