摘要
산화규소 웨이브가이드 코어층의 측벽 거칠기와 각도는 장치에서 광 손실을 유발하는 주요 원인 중 하나입니다. 증착된 코팅 후 산화규소 웨이브가이드 코어층 측벽 각도를 정확하게 측정하기 위해 광학 영상 현미경을 이용한 웨이브가이드 측벽 각도 측정 방법을 연구하였으며, 측정 오차를 유발하는 현미경 대물렌즈 배율과 영상 특성 간의 관계를 자세히 분석했습니다. 이론적 분석에 따라 웨이브가이드 측벽 각도 측정값을 보정하였고, 얻은 실험 결과는 레이저 공초점 측정 결과와 일치하였습니다. 이 측정 방법을 이용해 증착된 코팅 웨이브가이드 코어층 측벽 각도를 10개 그룹에 대해 측정하고, 코팅 미증착 시 레이저 공초점 측정 결과와 비교하여 측정 정확도가 ±1° 이내임을 도출하였습니다. 이 방법은 증착 후 산화규소 웨이브가이드 장치 코어층 측벽 각도 측정을 위한 정확하고 실현 가능한 방안을 제공합니다.
关键词
광학 측정;산화규소 웨이브가이드;광학 영상 현미경;증착 후 웨이브가이드 코어층;측벽 각도
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