다중 표면 간섭 측정을 실현하기 위해 최소제곱 원리에 기반한 반복 위상 이동 알고리즘이 제안되었다. 2차 반사 신호를 최소제곱 해 방정식에 포함시켜 간섭 측정의 정확도를 더욱 향상시켰다. 최소제곱 원리에 따라 이론값과 실제 간섭 정보를 연결하여 최소제곱 방정식을 구성하며, 이 방정식은 초기 위상의 반복 계산과 각 두 프레임 간 위상 이동 값 반복의 두 부분으로 나뉜다. 21프레임 간섭 영상의 반복 결과를 통해 보다 정확한 초기 위상 분포를 구할 수 있다. 시뮬레이션 결과에 따르면 2차 반사 신호를 고려하지 않을 경우 해의 정확도는 10nm이고, 이 신호를 계산에 포함하면 해의 정확도가 0.3nm로 향상될 수 있다. 실측 데이터 실험 결과 본 알고리즘은 비교적 정확한 위상 분포를 구할 수 있으며, 해 결과에 잡음 간섭 및 고조파 신호 잔류가 없으며 다중 표면 투명 렌즈의 고정밀 측정을 실현할 수 있다.

간섭 측정; 다중 표면 간섭; 위상 이동 알고리즘; 2차 반사 신호; 최소제곱 반복