고이득 AlGaN 태양광 블라인드 자외선 애벌랜치 포토다이오드

DAI Zhi-cheng ,  

GU Yan ,  

ZHANG Xiu-mei ,  

LU Nai-yan ,  

YANG Guo-feng ,  

摘要

본 논문에서는 저 Al 함유량의 p형 구배 Al<x>Ga<1-x>N 층과 고/저 Al 함유량 AlGaN 배증층을 가지는 후방입사형 p-i-n-i-n 흡수 배증 구역 분리 특수 AlGaN 태양광 블라인드 자외선 애벌랜치 포토다이오드(Avalanche Photodiode, APD)를 설계하고, APD의 태양광 블라인드 반응을 개선하기 위해 AlN/Al<0.64>Ga<0.36>N 분포형 브래그 반사기를 삽입하였다. 특수 설계된 AlGaN APD의 실험적 성장 조건을 위해 Atlas-Silvaco 시뮬레이션 소프트웨어로 해당 소자 구조를 시뮬레이션하였으며, 기존 구조 APD와 비교하였다. 연구 결과 특수 설계된 APD가 기존 APD보다 우수한 광전 특성을 보임을 확인하였다. 설계된 APD는 더 높은 정공 충돌 이온화 계수와 외부 인가 전장과 같은 방향의 고분극 전장을 동시에 발생시켜 기존 APD에 비해 6.11×10⁴의 애벌랜치 증폭 이득을 가지며, 이는 10배 향상된 수치이고, 애벌랜치 붕괴 전압이 크게 감소하였다. 설계된 APD는 우수한 광전 특성을 갖고 있어 AlGaN 기반 APD 성장에 견고한 이론적 기초를 제공한다.

关键词

광전자 소자;애벌랜치 포토다이오드;AlGaN;분극 전장;분포형 브래그 반사기

阅读全文

以上内容由讯飞翻译自动生成,翻译内容仅供参考。对于因使用本网站翻译内容产生的相关后果,本网站不承担任何商业和法律责任。

The above content is generated by Large Model Translation. The translated content is for reference only. We do not assume any commercial or legal responsibilty for any consequences arising from the use of our website