그리드 인코더 전기방사 직접 작성 정밀 인쇄

ZHENG Gao-feng ,  

JIANG Jia-xin ,  

KANG Guo-yi ,  

ZHANG Kai ,  

ZHENG Jian-yi ,  

摘要

분사 안정성을 향상시켜 정확한 미세 패턴 인쇄 및 마이크로 디바이스 통합 제조를 실현하는 것은 전기방사 직접 작성 기술 연구의 핵심 과제입니다. 퍼지 컨트롤러를 도입하여 폐쇄 루프 제어 시스템을 구축함으로써 하전 분사의 간섭 매개변수가 많고 제어 모델이 부족한 문제를 극복하고, 분사 행동, 방사 전류 및 인쇄된 미세 구조 크기의 진화 규칙을 연구하였습니다; 직선 및 원형 그리드 인코더 두 가지를 인쇄하여 각각 선속도와 각속도 측정에 적용할 수 있고, 두 그리드 인코더를 각각 테스트하기 위한 속도 센서 검출 시스템을 구축하였습니다. 실험 결과 폐쇄 루프 시스템은 분사 안정성과 인쇄 구조의 균일성을 효과적으로 향상시키며, 직접 작성된 미세/나노 구조의 선폭 분포 구간이 40~140 µm에서 50~100 µm로 감소하였습니다; 속도 센서 검출 시스템의 테스트 결과를 분석한 바, 직선 그리드 인코더의 선속도 측정 범위는 0~100 mm/s이며 오차는 0.87% 이하, 원형 그리드 인코더의 각속도 측정 범위는 0~100 (°)/s이며 오차는 0.74% 이하입니다. 퍼지 폐쇄 루프 제어는 전기방사 직접 작성 기술의 안정성과 마이크로 디바이스 통합 제조 정밀도를 크게 향상시켜 마이크로/나노 인쇄 기술의 산업화 응용 촉진에 기여합니다.

关键词

전기방사 직접 작성;퍼지 제어;조직된 미세 패턴;그리드 인코더;속도 센서

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