노광 공정에서 원심 코팅 후 감광제 층의 균일성은 노광 선폭에 큰 영향을 미친다. 고속 회전 하에서 오목한 기판 위에 감광제 콜로이드가 형성하는 막 두께의 균일성을 얻기 위해 오목한 기판 위에서 원심 회전하는 비뉴턴 유체 미세 요소의 유체역학 모델을 구축하였다. 해당 경계 조건, 비뉴턴 유체의 구성 방정식 및 연속 방정식에 따라 유체 특성, 곡면 형상, 회전 속도 및 시간 등의 요인과 최종 두께 간의 관계식을 도출하였다. 레오미터를 사용하여 950 K PMMA C 2% 감광제 유체 특성을 보정하였으며, 오목한 기판 위에서 회전 속도를 단일 변수로 하여 원심 코팅 실험을 수행하였다. 분광 타원 편광계를 사용하여 벡터 반경 변화에 따른 원심 코팅 후 콜로이드 두께를 측정하고 이론과 비교하였다. 실험 결과에 따르면 회전 속도가 2,000 rpm일 때 이론 두께는 267 nm이고 실험 측정 두께는 230 nm로 편차율은 13.86%이며, 회전 속도가 3,000 rpm일 때 이론 두께는 178 nm, 실험 측정 두께는 172 nm로 편차율은 3.37%이다. 코팅 후 예비 굽기 공정이 콜로이드 층 두께를 추가로 줄이는 점을 고려할 때 편차는 정상 범위 내에 있다. 본 논문에서 구축한 수학 모델은 예측력이 우수하여 원심 회전 후 콜로이드의 균일성에 대해 이론적 지침을 제공할 수 있다.

전자빔 노광;원심 코팅;비뉴턴 유체;코팅층 두께;곡면