摘要
미세 질량 측정을 달성하기 위해 본 논문에서는 3자유도 약결합 공진기의 모드 국소화 효과에 기반한 미세 질량 센서를 제안하였으며, 3개의 공진기 운동 방정식을 수립하고 질량 교란 시스템 방정식을 도출하였으며, 3자유도 결합 공진 시스템의 MATLAB/SIMULINK 모델을 구축하였다. 진폭 변화 및 공진 주파수 변화에 비해 진폭비 변화가 가장 높은 정규화 민감도를 갖는 것을 얻었다. 마지막으로 센서 설계 및 미세 가공을 수행하여 질량 측정 시스템을 구축하였다. 실험 결과 전압 진폭비 변화로 인한 정규화 민감도는 진폭 변화의 약 4배이며, 주파수 변위 변화보다는 약 두 배 크기이며, 최소 검출 질량값은 2 ng임을 보였다. 시뮬레이션 및 실험 결과는 3자유도 모드 국소화 약결합 공진기가 미세 질량 측정이 가능하며 우수한 바이오센서 응용 전망을 가지고 있음을 나타낸다.
关键词
미세 질량 센서; 3자유도; 모드 국소화; 약결합; 공진기
以上内容由讯飞翻译自动生成，翻译内容仅供参考。对于因使用本网站翻译内容产生的相关后果，本网站不承担任何商业和法律责任。
The above content is generated by Large Model Translation. The translated content is for reference only. We do not assume any commercial or legal responsibilty for any consequences arising from the use of our website