초구조 표면 배열 분광은 높은 투과율, 낮은 손실, 높은 집적도를 특징으로 하며, 현재 마이크로-나노 구조 분야의 연구 핫이슈입니다. 본 논문에서는 Si와 SiO₂로 구성된 초구조 표면 적외선 분광 배열을 제안합니다. 다른 파장의 적외선 빛이 단위체에 입사될 때, 원기둥 반경만을 변경하여 서로 다른 파장에 대한 투과율과 반출 위상의 반경 변화에 따른 변화를 계산했습니다. 일반화된 스넬의 법칙에 따라, 다양한 원기둥 반경을 가진 여러 단위체를 선택하여 초구조 표면 분광 주기를 구성하였습니다. 이 주기는 서로 다른 파장의 입사광에 대응하는 투과 위상 구배를 가지며, 초구조 표면 배열이 분광 기능을 갖고 있음을 검증했습니다. 초구조 표면 적외선 분광 배열의 가능한 응용에 대한 전망을 제시했습니다. 결과적으로 반경이 150, 250, 300 nm인 3개의 Si 나노기둥으로 구성된 초구조 표면 주기는 2.7 μm와 2.9 μm 파장의 혼합 입사 적외선 빛을 분리할 수 있으며, 투과율은 70% 이상입니다.

광전자 장치;적외선 분광;초구조 표면;유전체;위상