고정밀 변형률 측정을 실현하기 위해 고감도 마이크로-나노 광섬유 결합 변형률 센서가 제안되었다. 두 개의 단일 모드 광섬유에서 코팅층을 벗겨낸 후 광섬유 스트레칭 플랫폼에 배열하고 두 광섬유를 서로 감아 필요한 스트레칭 매개변수를 설정하였다. 수소 가스 흐름을 열고 수소 불꽃을 이용해 두 광섬유를 스트레칭 및 연소하여 광섬유 커플러를 제조하였으며, 결합된 강한 소멸장을 이용하여 변형률 측정을 실현하였다. 해당 장치에 대해 반복 측정을 실시하여 우수한 가역성이 있음이 확인되었다. 교차 감도 문제를 극복하기 위해 간섭 골이 온도와 변형률에 대해 서로 다른 감도 특성을 가지므로 계수 행렬을 이용하여 온도가 변형률에 미치는 영향을 해결하였다. 실험 결과 변형률 감도는 20.35 pm/με이며, 상응하는 선형 상관 계수는 99.9%에 달한다. 해당 변형률 센서는 다른 센서에 비해 감도가 높고 안정성이 좋으며 비용이 낮아 건축 안전 검사 등에서 일정한 응용 가치를 가진다.

광섬유 센서; 마이크로-나노 광섬유 커플러; 변형률 센서; 커플드 모드 이론; 안전 검사