선형 배열 이미지 센서의 양자 효율을 측정하기 위해 포커스 스캔법을 기반으로 한 양자 효율 테스트 시스템이 구축되었다. 이 시스템은 조명 광원, 단색계, 스캔 운동 기구 및 표준 검출기로 구성되며, 스캔 운동 기구를 이용해 선형 배열 카메라와 표준 검출기를 고정밀 균일 속도로 이동시켜 카메라가 생성된 단색 광점의 스캔 이미징을 수행한다; 선형 배열 카메라와 표준 검출기 간 위치를 전환하여 단색 광점 에너지 측정을 가능하게 한다; 마지막으로 선형 배열 카메라가 캡처한 영상의 총 회색도 합과 표준 검출기가 감지한 광 에너지 총합을 분석 계산하고, 포커스 스캔법 이론 공식과 결합하여 선형 배열 이미지 센서의 양자 효율을 얻는다. 테스트 결과 포커스 스캔법을 이용한 선형 배열 카메라 양자 효율 테스트 방법은 실행 가능하며 반복 정밀도가 높음을 보여준다. 측정 결과 불확실도 분석을 통해 이 방법의 양자 효율 측정 정밀도는 약 2.6%임을 확인하였다. 포커스 스캔 선형 배열 카메라 양자 효율 테스트 시스템은 동적 직선 스캔 포커스를 통해 선형 배열 카메라의 양자 효율을 측정하여, 선형 배열 카메라 양자 효율 테스트 방법의 부족함과 낮은 정밀도를 보완하였다. 또한, 포커스 스캔법을 이용한 양자 효율 측정은 선형 배열 카메라에 한정되지 않고 다양한 유형의 카메라의 광전 파라미터 테스트에도 적용 가능하며, 측정 정밀도는 대부분 프로젝트 요구를 만족한다.

선형 배열 카메라; 양자 효율; 이미지 센서; 광전 파라미터; 불확실도