광학 합성 개구 영상 기술의 핵심은 위상 동기 문제를 해결하는 것으로, 부분 개구들 간의 위상 불일치는 영상 품질에 심각한 영향을 미친다. 공학적으로 일반적으로 위상 정밀도를 광파장 λ/10 내로 요구한다. 본 논문은 압전 세라믹을 사용하여 액체 위상 조절기를 제작하고, 간섭법과 디지털 영상 처리 기술을 이용하여 위상 조절기의 위상을 고정밀로 검출한다. 압전 세라믹 챔버에 액체를 주입하여 위상 조절기를 제작하였으며, 간섭계를 사용해 다양한 전압 하에서 압전 세라믹 액체 위상 조절기의 간섭 무늬를 얻고 CCD로 기록하였다. 마지막으로 이 간섭 무늬 영상을 디지털 영상 처리하여 단일 픽셀 단위의 간섭 무늬 골격을 얻어, 간섭 무늬 표시법을 사용해 다양한 전압에서 골격 무늬의 이동 상황을 추적하고 골격 무늬의 픽셀 이동량을 계산하였다. 실험 결과, 0~30V 전압 범위 내에서 압전 세라믹 액체 위상 조절기의 위상 조절 범위는 0~3.325π이며, 조절 정밀도는 λ/40에 달하고 전압 구간 내 위상 조절의 선형성이 우수하여 광학 합성 개구 내 단일 서브 미러의 위상 변조 정밀도 요구를 충족한다.

합성 개구 영상; 압전 세라믹; 액체 위상 조절기; 디지털 영상 처리; 위상 검출