레이저 조사 행간 전송형 CCD의 크로스토크 효과

ZHOU Xuan-feng ,  

ZHANG De-feng ,  

WANG Yan-bin ,  

XIAO Wen-jian ,  

REN Guang-sen ,  

LI Hua ,  

摘要

레이저 빔으로 전하 결합 소자(CCD) 이미지 센서를 조사할 때, 크로스토크 효과는 가장 중요한 간섭 현상 중 하나입니다. 본 논문에서는 532nm 레이저를 이용하여 행간 전송형 CCD에 조사 실험을 수행하였으며, 일련의 크로스토크 현상을 관측하고 CCD의 포화 임계값을 0.32 mW/cm2로 계산하였습니다. 행간 전송형 CCD의 작동 원리와 구동 펄스 타이밍에 따라 크로스토크 효과를 적분 주기 내 오버플로우와 읽기 전송 시 오버플로우 두 과정으로 나누어, 이를 바탕으로 크로스토크 효과 영상 시뮬레이션 연구를 진행하였습니다. 먼저 가우시안 빔 전파 법칙에 따라 탐지 대상 면의 레이저 에너지 분포를 시뮬레이션하였고, 광전 변환 효과에 따라 광생 전하 분포를 시뮬레이션하였으며, 두 오버플로우 과정을 시뮬레이션하여 크로스토크 전하 분포를 얻었고, 마지막으로 전압 검출 및 회색량화 과정을 시뮬레이션하여 크로스토크 영상을 얻었습니다. 통계적 계산 결과 시뮬레이션 상대 오차가 40% 미만으로, 시뮬레이션 결과와 실험 결과가 잘 일치함을 나타냈습니다.

关键词

레이저 조사 효과;크로스토크 효과;전하 결합 소자;이미지 센서;영상 시뮬레이션

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