석영 유리는 연마 과정에서 피할 수 없이 아표면 손상이 발생하며, 석영 유리의 아표면 손상 검출은 석영 유리 가공 공정 최적화에서 항상 관심의 중심이 되어 왔다. 본 논문은 편광 레이저 산란법과 레이저 산란 공초점법을 결합하여 편광 레이저 공초점 기반의 석영 유리 연마 아표면 손상의 비파괴 검출 방법을 제안하고 비파괴 검출 시스템을 구축하였다. 서로 다른 다이아몬드 연마액을 사용하여 연마한 석영 유리의 아표면 손상을 검출하였으며, 동일 배치 석영 유리의 결과를 단면 현미경 파괴 검사법으로 검증하였다. 비파괴 및 파괴 검사 결과를 비교한 결과, 아표면 손상 깊이의 상대 오차는 5% 이내였고, 아표면 균열 형태는 기본적으로 일치하였다. 결과는 편광 레이저 공초점 비파괴 검출 방법이 석영 유리 연마 아표면 손상의 정량적이고 비파괴적인 검출이 가능함을 나타낸다. 본 연구는 추후 석영 유리 가공 공정 최적화에 유효한 검출 수단을 제공할 수 있다.

아표면 손상; 편광 레이저 산란; 공초점 영상; 단면 현미경법; 석영 유리