전통적인 간섭계는 레이저 광원을 사용하며, 레이저의 높은 코히어런스로 인해 평행판, 프리즘 등 특수 광학 부품 측정 시 심각한 간섭이 발생한다. LED, 텅스텐 램프 등의 광원은 빛의 직진성 저하, 빛 세기 안정성 부족 및 짧은 코히어런스 길이 등의 특성으로 인해 특수 광학 부품 검사용 간섭계 광원으로 부적합하다. 짧은 코히어런스를 가진 레이저 광원은 방향성이 좋고 밝기가 높으며 적당한 코히어런스 길이를 갖는 장점이 있어 특수 부품 검사용 간섭계의 이상적인 광원이다. 짧은 코히어런스 간섭계의 광원 요구에 대응하여, 전류 변조를 통한 반도체 레이저 광원의 코히어런스에 대해 이론적으로 연구했다. 연구 결과, 변조 주파수가 높고 변조 강도가 클수록 광원의 코히어런스 길이가 짧아지며, 바이어스 전류가 클수록 출력 전력이 높아지고 코히어런스가 좋아져 짧은 코히어런스 광원 생성에 불리하다. 이를 바탕으로 코히어런스 길이 80 μm, 사이드로브 억제비 0.31, 출력 광 파워 30 mW인 짧은 코히어런스 레이저 광원을 구축·제작하여 짧은 코히어런스 측정 광원 요구를 충족했다.

반도체 레이저; 짧은 코히어런스 광원; 코히어런스 함수; 전류 변조