진자 부품은 마이크로 서스펜디드 진자형 가속도계의 핵심 부품으로서, 조립 정밀도가 가속도계의 측정 정확도에 직접적인 영향을 미칩니다. 이를 위해 진자 부품 자동 조립 장치를 개발하였습니다. 상하 고정형 및 탈착식 공구 고정을 설계하였으며, 진자 부품은 탈착식 고정을 통해 해당 고정 공구에 설치됩니다. 스테핑 직선 모터가 실 끼우기 클램프를 구동하여 진자가 유리관에 상대적으로 실을 삽입하며, 미세 힘 센서가 장력을 제어합니다. 진공 흡착 장치는 3차원 이동 플랫폼에 통합되어 상부 조립 모듈을 구성하며, 상부 공구의 집기, 이송 및 위치 결정을 구현합니다. 잠금 장치는 전동 회전대에 통합되어 하부 조립 모듈을 구성하며, 하부 공구의 고정 및 자세 조정을 실현합니다. 상하 공구 고정구의 정렬과 결합을 통해 최종 조립을 완성합니다. 조립 과정에서는 반사 프리즘을 이용하여 단일 카메라로 입체 시각 측정 기능을 수행합니다. 실험 데이터에 따르면 조립 위치 정확도는 15µm 미만이고, 평행도는 15µm 미만으로, 자동 조립 장치의 안정성, 신뢰성 및 높은 조립 정밀도 요구사항을 충족합니다.

진자 부품; 마이크로 서스펜디드 진자형 가속도계; 조립 장치; 유리관