摘要
석영 유리는 연마 과정에서 불가피하게 아면 손상이 발생하며, 석영 유리의 아면 손상 검출은 석영 유리 가공 공정 최적화의 중요한 이슈이다. 본 논문에서는 편광 레이저 산란법과 레이저 산란 공초점법을 결합하여 편광 레이저 공초점을 기반으로 한 연마석영 유리 아면 손상의 비파괴 검출 방법을 제안하였다. 비파괴 검출 시스템을 구축하여 서로 다른 다이아몬드 연마액을 사용한 석영 유리 아면 손상을 검출하였으며, 동일 배치 석영 유리에 대해 단면 현미경 손상 검출법으로 검증하였다. 비파괴 및 유해 검출 결과를 비교한 결과, 아면 손상 깊이의 상대 오차는 5% 이내였고, 아면 균열 형상은 거의 일치함을 확인하였다. 결과는 편광 레이저 공초점 비파괴 검출 방법이 연마석영 유리 아면 손상의 정량적이고 비파괴적인 검출을 실현할 수 있으며, 후속 석영 유리 가공 공정 최적화를 위한 효과적인 검출 수단이 될 수 있음을 보여준다.
关键词
공초점 영상;아면 손상;편광 레이저 산란;단면 현미경법;석영 유리
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