摘要
X선 집광 렌즈는 우주에서 발생하는 X선 복사를 수집하고 집중시키는 데 사용되며, X선 천문 위성 관측 탑재체의 핵심 부품입니다. 본 논문에서는 니켈 기판 전기도금 복제 방법을 채택하여 화학적 니켈-인 합금 도금, 금형 초정밀 가공, 금형 도금, 니켈 기판 전기도금, 금형 탈형 등 전 공정에 걸쳐 다수의 공정 탐색 및 장비 개발을 수행하였으며, 궁극적으로 X선 집광 렌즈의 대량 초정밀 제조를 완료하였습니다. 실험 결과, 집광 렌즈 금형 가공 정밀도 - 표면 조도 0.5 nm RMS 미만, 형상 정밀도 0.5 μm 이상, 렌즈 각도 분해능 33.5″ HPD(에너지 반치폭)로, 공정의 신뢰성과 선진성을 입증하였습니다.
关键词
X선 광학;Wolter 집광 망원경;사면입사;전기도금 복제;초정밀 가공
以上内容由讯飞翻译自动生成，翻译内容仅供参考。对于因使用本网站翻译内容产生的相关后果，本网站不承担任何商业和法律责任。
The above content is generated by Large Model Translation. The translated content is for reference only. We do not assume any commercial or legal responsibilty for any consequences arising from the use of our website