탄소 나노튜브의 집기는 대규모 제조 및 전자 나노 장치 수리에 중요한 의미를 갖는다. 본 논문에서는 주사 전자 현미경 내에 마이크로나노 조작 시스템을 구축하고, 고배율 및 저배율에서 텅스텐 바늘과 원자력 현미경 탐침을 탄소 나노튜브와 협동 작동시켜 절단 및 집기 회로를 구축하는 방안을 제시하였으며, 통전 절단 방법을 사용하여 탄소 나노튜브를 빠르게 집는 방법을 실현하였다. 텅스텐 바늘과 탄소 나노튜브의 접촉 상태를 유지한 채 원자력 현미경 탐침과 탄소 나노튜브 간 점 접촉 및 선 접촉 회로 모델을 설립하고, 접촉 자세가 전기적 성능에 미치는 영향을 분석했으며, 선 접촉 회로 모델에서는 탄소 나노튜브와 원자력 현미경 탐침 간 접촉 길이를 변경하여 접촉 길이가 접촉 저항에 미치는 영향을 연구하였다. 실험 결과 본 논문에서 제안한 조작 전략이 탄소 나노튜브 집기 성공률을 효과적으로 향상시키고 조작 시간을 약 8분 내외로 제어할 수 있음을 보여주었다; 0~1V 저전압 및 탄소 나노튜브와 금 표면 간 선 접촉 상태에서는 탄소 나노튜브가 텅스텐 바늘 및 금 표면과 옴 접촉하며, 생성된 접촉 저항은 금속 접촉 길이에 반비례하는 반면, 점 접촉 상태에서는 비오옴 접촉으로 접촉 상태가 탄소 나노튜브와 금속 간 전기적 성능에 영향을 미침을 나타낸다. 본 논문의 탄소 나노튜브 집기 전략 및 전기적 성능 측정 결과는 탄소 나노튜브의 집기, 성능 측정 및 조립 작업에 일정한 지침적 의미를 가진다.

마이크로나노 조작;탄소 나노튜브;통전 절단;전기적 성능