대구경 광학 렌즈 지지를 해결하기 위해 이중 유연 지지 구조가 제안되었으며, 이는 렌즈 위치 정확도 및 면형 정확도를 보장하고 거울 프레임 구조의 탄성 변형 영향을 극복할 수 있다. 먼저 대구경 광학 렌즈 지지 구조 설계의 난점과 제안된 이중 유연 지지 구조 방안에 대해 상세히 설명하고, 그 지지 구조가 거울 프레임 탄성 변형을 극복하는 메커니즘과 장점을 자세히 기술했다. 이후 이중 유연 지지 구조의 구성 요소 및 구조적 특징을 바탕으로 오일러 박리 이론에 근거하여 유연 지지 단위의 구조 역학 모델을 유도했다. 그리고 렌즈를 강체로 가정하고, 다양한 자세에서 렌즈의 힘 평형과 유연 지지 단위의 변형 조화 조건에 따라 전체 강성 모델을 유도했으며, 여기에는 축 강성, 횡 강성 및 회전 강성이 포함된다. 마지막으로 640mm 구경 실험 렌즈를 예로 들어 강성 지지, 단일 유연 및 이중 유연 지지 조건에서 거울 프레임 탄성 변형이 면형 정확도에 미치는 영향을 수치 시뮬레이션 방법으로 각각 모사했다. 거울 프레임 탄성 변형이 매우 큰 경우 이중 유연 지지 구조 하에서 면형 정확도는 20nm에서 50nm로 2.5배만 감소했다. 또한 Zygo 간섭계로 실험 렌즈 하부 표면 간섭 검사를 수행했으며, 최적 면형 정확도는 0.05 λ로 가공 상태에 도달하여 제안한 이중 유연 지지 구조의 우수성을 추가로 검증했다.

광학 렌즈;이중 유연;지지 구조;면형 정확도;수치 시뮬레이션