스윕 주파수 과정에서 감쇠기가 0Hz와 고유 진동수 사이의 주파수에서 플랫폼 베이스 관성력의 간섭을 잘 차단하지 못하는 문제를 해결하기 위해 이중 구동 능동 감쇠 시스템의 조정 가능한 반공진 주파수 제어기를 제안했다. 이중 구동 능동 감쇠 시스템의 운동학 모델, 조정 가능한 반공진 주파수 제어기 및 파라미터 설계 등을 연구했다. 먼저, 설계된 이중 구동 능동 감쇠 시스템의 운동학 모델을 구축했다. 다음으로 시스템의 반공진 주파수 특성을 기반으로 조정 가능한 반공진 주파수 제어기 및 그 파라미터 설계를 제안했다. 이후 조정 가능한 반공진 주파수 제어를 통한 감쇠 성능을 분석했다. 마지막으로 실험 플랫폼을 구축하여 실험 검증을 수행했다. 실험 결과는 0에서 초기 반공진 주파수까지 폐쇄 루프 전달율이 -15 dB 미만임을 보여주었다. 또한 제어기의 파라미터를 바꿈으로써 추가 반공진 주파수가 0 Hz와 초기 반공진 주파수 사이에서 조정 가능함을 확인했다. 추가 반공진 주파수 근처에서 폐쇄 루프 전달율은 -30 dB 미만이었다. 이 제어기를 이용하여, 하중의 교란 진폭은 4 mm·s^-1에서 0.5 mm·s^-1로 감쇠되었고, 플랫폼 베이스의 충격 교란은 87.5% 감소되었다. 이중 구동 능동 감쇠 시스템과 조정 가능한 반공진 주파수 제어기는 스윕 간섭을 실시간으로 추적하며 반공진 주파수 지점을 조정할 수 있어 반도체 제조업의 초저진동 요구 스윕 환경에 적용되어 우수한 감쇠 효과를 달성할 수 있다.

이중 구동;능동 감쇠;조정 가능한 반공진 주파수 제어기