스캐닝 격자 마이크로미러는 차세대 마이크로 분광기의 핵심 분광 소자입니다. 고정 격자 분광 기반 마이크로 분광기는 근적외선 대역에서 어레이 검출기를 사용하기 때문에 가격이 비싸 근적외선 분광 분석 기술의 보급을 심각하게 제한합니다. 본 논문에서는 미세 나노 가공 공정을 이용한 전자기 스캐닝 격자 마이크로미러를 제안하였으며, 격자, 구동 구조, 각도 센서를 하나의 장치에 통합하여 어레이 검출기 대신 단일 검출기를 사용할 수 있습니다. 전자기 스캐닝 격자 마이크로미러의 이론 모델을 구축하고, 빔 크기, 거울 크기 등 주요 구조 매개변수가 장치 성능 지표에 미치는 영향을 분석하여 설계 매개변수를 획득하였습니다. 미세 나노 가공 방법으로 전자기 스캐닝 격자 마이크로미러 칩을 제작하고 성능 지표를 테스트하였습니다. 실험 및 이론 결과에 따르면 장치 스캔 각도가 ±7°일 때 스펙트럼은 800~2500 nm에 도달하며, 스티그마 파장 근처의 회절 효율은 ≥70%, 각도 센서 제어 정밀도는 ≤0.05°로 근적외선 마이크로 분광기에 적용할 수 있는 효과적인 솔루션을 제공합니다.

마이크로나노 장치;스캐닝 격자 마이크로미러;전자기;각도 센서;근적외선