대행정 범위 내에서 발생하는 저감쇠 공진 및 동적 특성 차이 문제를 극복하기 위해, 종합 데이터 기반 주파수 영역 역반복 전향 보상과 위상 선행 보정을 포함한 PI 피드백 제어가 결합된 복합 폐루프 주파수 영역 역반복 학습 제어 방법을 이용하여 고속 고정밀 제어를 수행하였다. 우선, 음권 모터 구동의 이중 평행 사변형 유연 구조 마이크로 위치 결정 시스템을 구축하고, 다양한 작동 점에 대해 동역학 모델을 식별하였다. 이후 시스템의 상대적 안정성을 향상시키기 위해 위상 선행 보정 부품이 포함된 PI 피드백 제어기를 설계하였다. 동시에 입력 및 출력 데이터를 활용하여 시스템 주파수 응답 함수를 온라인으로 역추정하고 전향 보상을 수행하여 공진 영향을 추가로 제거하였다. 마지막으로 제안된 제어 방법을 이용한 추적 실험을 수행하고 다른 방법들과 비교하였다. 실험 결과, 삼각파 목표 궤적의 최대 추적 오차는 0.175%였으며 PID 제어, 위상 선행 PI 제어, 전이 함수 역모델 전향 제어 대비 각각 8.75배, 5.43배, 2.21배 추적 평균 제곱근 오차가 감소하여 대행정 마이크로 및 나노 위치 결정의 높은 추적 정밀도, 빠른 속도, 강한 내섭동 능력 요구를 잘 충족시켰다.

음권 모터;마이크로 위치 결정 플랫폼;유연 구조;위상 선행;주파수 영역 역반복