과잉 삽입 미세 조립에서 약한 미세 부품의 손상 쉬움 문제를 해결하기 위해, 레이저 관성 구속 핵융합(Inertial Confinement Fusion, ICF) 연구 중 미세 타겟 핵심 부품인 냉동 커버(Thermomechanical Package, TMP) 구성품 조립을 연구 대상으로 하여 약한 미세 부품 과잉 삽입 조립 방법 연구를 진행하였다. 먼저, 조립 공간 협소 및 시각적 차단으로 인해 조립 중 실리콘 암 변형 감지가 어려운 문제에 대해, 그레이스케일 변화 기반 변형 감지 방법을 제안하고 작은 클로 그레이스케일-변형 모델을 구축하였다; 그 다음, 현미경 영상 검사 정확도 영향으로 실리콘 암과 슬리브의 미세 자세 편차 감지가 어려운 문제에 대해, 실리콘 암의 하중 변형 분석을 기반으로 실리콘 암과 슬리브 자세 편차 정성 판단 방법을 제안하여 두 요소의 미세 자세 편차 감지를 실현하였다; 마지막으로 부품의 그레이스케일 변화 및 기하학적 분석을 기반으로 미세 조립 과정의 자세 편차 정량 계산 방법을 제안하고 과잉 삽입 조립 제어 전략을 설계하였다. 실험 결과는 제안한 방법의 유효성을 증명하였으며, TMP 구성품의 20~26 μm 과잉 삽입 무손상 조립을 실현하였다. 이 방법은 마이크로 전자 기계 시스템 제조에서 미세 축공 과잉 삽입에 적합하다.

약한 미세 부품; 변형 제어; 과잉 삽입 조립; 미세 조립