마이크로전자기계시스템(MEMS) 기반의 비고유 광섬유 퍼라스퍼 초음파 센서는 전자기 간섭에 강하고, 신호 전송 거리가 길며, 크기가 작고 무게가 가벼운 특징을 가지고 있으며, 전력 장비 내 부분 방전에서 방출되는 초음파 신호의 검출 및 위치 지정 능력이 우수합니다. 이 센서의 민감 구조는 일반적으로 원형의 완전한 막으로 구성되며, 가공 방법이 비교적 간단하지만 막 내부외부의 온도 차이나 압력 불균형이 센서 성능 지표의 편차를 초래할 수 있어 이러한 영향을 줄이거나 제거하는 것이 광섬유 퍼라스퍼 초음파 센서의 산업적 응용 촉진을 위한 기본 전제조건입니다. 다공성 민감 막 기반의 광섬유 퍼라스퍼 초음파 센서가 제안되었으며, 민감 막은 MEMS 공정을 이용해 두께가 5μm에 불과하며 가공 방법이 간단하고 비용이 저렴합니다. 또한 3D 프린팅 기술과 방수 투과막을 결합하여 민감 막의 보호용 패키징을 완성하였습니다. 실험 결과 이 센서는 액체 내에서 우수한 초음파 응답을 가지며, 정압 감도가 최대 1.25 V/Pa에 달하며, 거리 감쇠, 방향 응답 및 정압 성능이 공기 중과 동일한 규칙을 유지하고 통기 구멍으로 인해 민감 막 내외부의 기압 불균형 현상을 방지합니다. 따라서 이 센서는 액체 내에서 부분 방전 검출 분야에서 우수한 응용 가능성을 보여줍니다.

광섬유 센싱; 마이크로 전자기계시스템; 부분 방전; 퍼라스퍼 초음파 센서; MEMS 민감 막