항공 광전자 플랫폼의 가시광/적외선 이중 파장 두 축 고속 반사경의 면 형상 정밀도 및 동적 성능에 대한 높은 요구를 충족하기 위해 경량 평면 반사경과 유연 구조를 맞춤 설계하였다. 고속 반사경 구조의 설계 방법을 정리하였으며, 설계 요소를 명확히 하고 조립 오차의 영향을 분석하였다. 후면 중앙 지지 경량 반사경을 설계하였고, 위치 지정 공구를 통해 모터의 고정밀 조립을 구현하였다. 십자형 유연 베어링을 기반으로 이축 유연 구조 설계를 실현하였다. 마지막으로 고속 반사경의 면 형상 정밀도와 모드를 시뮬레이션 및 실험 테스트하였다. 실험 결과 평면 반사경의 면 형상 정밀도(RMS)는 0.017λ(λ=632.8 nm)보다 우수하며, 고속 반사경 폐루프 대역폭은 200 Hz 이상이고, X 및 Y 방향 위치 오차는 모두 1.2 μrad 이하임을 보여주었다. 높은 면 형상 정밀도와 높은 동적 성능을 만족하는 기반 하에, 이 고속 반사경은 소형화 및 모듈화가 가능하며 복잡한 항공 환경에서 안정적이고 신뢰성 있게 작동할 수 있다.

고속 반사경; 이축 유연 지지; 면 형상 정밀도; 모드 분석