이중층 마이크로-나노 구조의 전자기 차폐 강화 메커니즘 분석 및 검증

LIAO Dunwei ,  

ZHENG Yuejun ,  

CUI Hao ,  

CUN Tie ,  

FU Yunqi ,  

摘要

이중층 마이크로-나노 구조에 의한 전자기 차폐 향상 메커니즘 분석을 위해 분석 모델을 구축하고 이론식을 유도하였다. 격자 구조를 예로 들어 이중층 마이크로-나노 구조의 전자기 차폐 성능 향상 메커니즘을 분석하였으며, 이중층 마이크로-나노 구조 전자기 차폐의 이론적 계산식을 도출하였고, 이론 계산은 전자기 시뮬레이션 소프트웨어 CST Microwave Studio 전파 전파 전자기 전파 전파 시뮬레이션 결과와 잘 일치하였다. 전체 전파 시뮬레이션에서 마이크로-나노 구조는 계산된 파장보다 2~3계급 작았으며, 이는 메커니즘 분석과 전체 전파 시뮬레이션 소프트웨어 계산의 정확성을 검증했다. 제공된 전자기 차폐 향상 메커니즘 분석 및 계산식은 다층 마이크로-나노 구조에 확장 가능하여 보편성을 가진다. 메커니즘 분석과 전체 전파 소프트웨어 시뮬레이션 결과의 정확성을 추가로 검증하기 위해 이중층 격자 마이크로-나노 구조 샘플을 제작하였으며, 샘플의 실측 결과는 이론 및 전체 전파 시뮬레이션 결과와 기본적으로 일치하였고, 2~18 GHz 범위에서 차폐 효율은 45 dB 이상이며, 평균 투과율은 71%를 초과하여 우수한 투명 차폐 성능을 나타냈다. 이 메커니즘 분석은 고투명 및 고효율 전자기 차폐용 마이크로-나노 구조 설계에 이론적 지침을 제공한다.

关键词

마이크로-나노 구조;전자기 차폐;이중층;투과율

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