기하학적 위상의 초표면 렌즈는 전통적인 굴절 렌즈와 달리 위상 파면의 변조가 전파 과정 중 누적된 위상에 의존하지 않고 공간적으로 변화하는 단위 구조를 통해 국부 편광 상태를 변화시키며, 공액된 추가 위상을 도입하여 빛을 집광합니다. 기하학적 위상 초렌즈의 가변 매개변수 구조 간섭 제작을 위해 공간 가변 매개변수 위상 소자를 변조하는 푸리에 변환 광학 시스템이 제안되었습니다. 4<f>f</f> 광로의 푸리에 변환 원리와 위상 소자 회절 광선의 기하학적 전파 특성을 이용하여 위상 소자의 공간 주파수, 방향, 분포 영역이 시스템 영상면 광장 특성에 미치는 영향을 분석하였으며, 공간 가변 매개변수 위상 소자가 입사광을 분할 변조하고 동시에 여러 간섭 광장을 생성하여 방향과 주기가 변하는 마이크로 구조 제작 방법을 설명하였습니다. 이를 바탕으로 설계 제작된 가변 매개변수 위상 소자를 이용해 원형 및 링 분포 하의 가변 매개변수 간섭 광장을 생성하였고, 반경 1892 μm의 방향 및 주기가 변하는 마이크로 그레이팅 구조를 제작하였으며, 격자 방향은 0°, 125°, 235°, 주기는 각각 7.22, 6.51, 5.78 μm입니다. 본 시스템 광학 경로가 간단하고 투영 노광과의 통합이 용이하여 공간 가변 매개변수 구조 단위를 기반으로 한 기하학적 위상 초렌즈 제작에 새로운 방법을 제공합니다.

간섭 리소그래피;4<f>f</f> 광학 시스템;공간 가변 매개변수;위상 변조