광 간섭 측정 기술은 높은 민감도와 높은 반복성 덕분에 변위 등 기하량의 고정밀 측정에 자주 사용됩니다. 나노 수준의 정밀한 변위 측정을 실현하기 위해 소용돌이 빛과 평면파 간섭 모델을 기반으로 꽃잎 모양 간섭무늬의 회전 각도와 변위의 선형 관계를 설정하고 검증하였으며, 미세 변위 측정 방법을 제안하였습니다. 변위 측정 모델은 소용돌이 빛빔 간섭 광로를 사용하였으며, 시뮬레이션을 통해 원리의 타당성을 검증했고 변위 실험 시스템을 구축하여 측정 실험을 진행하였습니다. 실험 결과, 변위량이 200.0 nm일 때 측정 결과는 196.3 nm이고 오차는 3.7 nm이며 오차율은 1.9%로 나노 수준의 미세 변위 측정이 가능합니다. 기존의 구면파 간섭, 공액 소용돌이 빛 간섭 등 변위 측정 방안과 비교하여 이 미세 변위 측정 방법은 측정 신뢰성과 측정 정밀도 면에서 뚜렷한 장점을 가지고 있습니다.

간섭 측정;소용돌이 빛;미세 변위;평면파