摘要
침지식 노광기 이중 워크스테이지의 초정밀 위치 측정 응용 요구에 맞추어, 초정밀 공간 분리형 외헤테로딘 리트로 평면 격자 인코더 변위 측정 시스템을 제안하였다. 측정 시스템의 원리 및 설계, 시스템 각 부품의 설계 및 제조, 인코더 측정 원리 도출 및 실험 검증 등을 제시하였다. 설계된 평면 격자 인코더 변위 측정 시스템의 위상 카드 분해율은 4096이며, 측정 분해능은 x 50 pm / z 25 pm이다. 실험 결과, 본 평면 격자 변위 측정 시스템은 x 축 및 z 축 변위를 동시에 측정할 수 있으며, z 축 이동 거리는 ±1 mm로 침지식 노광기 이중 워크스테이지의 수직 초점 조절 요구를 충족한다; Rx /Ry /Rz 단축 회전 또는 3축 결합 회전의 한계 회전각 ±1.5 mrad일 때 교류 신호 품질이 측정 요구를 계속 만족하며, 노광기 이중 워크스테이지의 Rx /Ry /Rz 레벨링 회전도 요구를 충족한다. 설계된 평면 격자 인코더 변위 측정 시스템은 노광기 이중 워크스테이지의 해당 측정 기능을 실현할 수 있으며 높은 성능 지표를 가진다.
关键词
침지식 노광기;변위 측정;평면 격자 인코더;공간 분리;외헤테로딘;리트로 각
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