대면적 나노임프린트 기술 및 그 기기 응용

GAO Xiaolei ,  

CHEN Yiqin ,  

ZHENG Mengjie ,  

DUAN Huigao ,  

摘要

대면적 나노임프린트 기술은 템플릿 프린팅 방식을 이용해 대면적 마이크로 및 나노 구조를 대규모로 제작하는 그래픽 기술로, 반복성이 우수하고 비용이 낮으며 구조 해상도가 높은 장점이 있다. 다양한 고분자 및 매질의 신속한 구조 성형은 대면적 나노임프린트 기술이 마이크로·나노 광학 및 광전자 기기 제작에 독특한 이점을 부여하며, 발광 다이오드, 디스플레이, 증강현실 광도파관 및 미세유체 칩 등 다양한 분야에 응용될 수 있고 나노기술 상용화에 핵심적인 역할을 한다. 먼저 나노임프린트 기술을 소개한 후, 대면적 나노임프린트 기술, 대면적 프린팅 템플릿 제작, 대면적 나노임프린트 기술의 기기 응용 및 전망과 과제의 네 가지 측면에서 설명한다.

关键词

나노임프린트; 대면적 프린팅 템플릿; 대면적 그래픽화; 기기 응용

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