직선 전동자 속도의 실시간 강건 정밀 측정을 실현하기 위해, 가중 위상 상관 피크 보정 기반 직선 전동자 속도 측정 방법을 연구하였다. 먼저 톱니파 패턴 목표 영상을 구성하고, 선형 스캔 카메라를 이용해 운동 중 연속 톱니파 패턴 시퀀스를 획득하였다. 이후 위상차 알고리즘을 적용해 인접 신호의 상호전력 스펙트럼을 얻고, 푸리에 역변환 후 나타나는 디락 함수 대신 역비례 함수를 도입하여, 피크 점과 두 개의 이웃 점에 단순 가중만으로 스트라이프 신호의 서브픽셀 변위를 더 빠르고 안정적으로 구하였다. 마지막으로 시스템 보정 계수와 고정 촬영 간격을 기반으로 직선 전동자의 실시간 속도를 계산하였다. 실험 결과, 본 방법의 평균 소요 시간은 약 0.02 ms이며, 측정 정밀도는 0.05 픽셀 이내, 속도 측정 정밀도는 0.03 mm/s임을 확인하였다.

직선 전동자;영상 속도 측정;톱니파 패턴 영상;가중 위상 상관 피크 보정;서브픽셀 측정