3차원 미세 나노 계단의 광학 현미경 측정 정보는 다차원 형태 데이터로서 방대한 데이터 양과 복잡함, 낮은 다차원 상관성, 높은 표현 난이도를 가지며, 측정 불량점이 있어 주요 치수 표현 정확도에 영향을 미치는 경우가 많다. 본 논문에서는 3차원 미세 나노 계단의 고정밀 광학 현미경 측정 정량 표현 방법을 제안한다. 먼저, 3차원 미세 나노 계단의 구조적 특성에 맞추어 측정 시스템을 선택하고 측정 방법을 설계하여 3차원 형태의 포인트 클라우드 데이터를 획득한다; 둘째로, 3차원 형태 실측 데이터의 차원 재구성 방법을 확립하여 복잡한 다차원 표면 데이터를 유기적인 2차원 공간으로 저차원화한다; K-평균 군집화 알고리즘과 데이터 매핑을 기반으로 계단 높이 매개변수 정량 표현 모델을 생성하여 이상값을 식별하는 동시에 2차원 데이터 점 집합의 중심 거리 값을 계단 높이 값으로 매핑한다; 마지막으로, 반복 수렴 설계를 통해 알고리즘 표현의 정확도와 견고성을 더욱 향상시킨다. 두 종류의 미세 나노 계단 표준 물질에 대해 실험을 진행한 결과, 측정에 이상값 등 불량점이 존재하는 경우에도 본 방법이 계단 높이 매개변수를 고정밀로 표현할 수 있으며, 보정 값과 비교한 오차는 1.5% 미만임을 확인하였다.

3차원 나노 구조; 계단 높이; 광학 현미경 측정; 매개변수 표현; 3차원 형태