전통적인 절대치 변위 센서의 복잡한 인코딩 및 엄격한 광석판 가공 문제를 해결하기 위해 '정밀 위치 지정 + 정밀 측정'의 차극 구조를 이용한 절대형 시간격자 변위 측정 신기법을 제안하였다. 센서는 서로 극수 차이가 1인 두 열의 구동 코일로 구성되며, 각 열의 구동 코일은 공간적으로 직교 배치된 사인/코사인 코일로 이루어져 있다. 직교 구동 전류를 가하여 동적 자의 사인형 유도 코일로 시간 변하는 자기장을 감지하여 두 경로의 진행파 신호를 얻는다. 신호 해석을 통해 정밀 위치 지정과 정밀 측정의 결합 측정 방식으로 절대 변위 측정을 실현하였다. 설치 높이 및 설치 오차가 측정 정확도에 미치는 영향을 주로 분석하였다. 실험 결과 설치 편각이 극 내부 직류 레벨과 2차 고조파 오차를 현저히 증가시키며, 보정 후 센서는 90 mm 범위 내에서 측정 정확도 ±1.2 µm, 분해능 0.1 µm임을 나타냈다.

절대 변위 측정; 시간격자 센서; 차극 구조; 측정 오차 분석