마이크로 렌즈 어레이 단일점 다이아몬드 선삭의 가공 정밀도와 일관성을 향상시키기 위해 가공 오차 이론 모델을 제안하였으며, 그 보상 방법에 대해 이론적 분석과 실험 연구를 수행하였다. 마이크로 렌즈 어레이 가공을 자유 곡면 가공으로 등가화하고, 단일점 다이아몬드 슬로우 서보 절삭 모델을 구축하여 각 절삭 지점에서 절삭 방향으로 이론 곡면의 곡률 반경을 계산하였다; 공구 등가 기울기 각 모델과 기계 가공 지연 모델을 결합하여 슬로우 서보 절삭 마이크로 렌즈 어레이 오차 면 형상의 이론 예측값을 얻었다. 이후 원위치 측정 장비를 사용하여 실제 가공 오차를 측정하고, 면 형 오차 이론값과 실제 가공 오차 측정값을 비교하였으며, 면 형 오차 이론값을 가공 프로그램에 사전 보상하였다. 실험 결과 면 형 오차 이론값과 실제 가공 오차 측정값은 일치하였고, 두 값 사이의 편차는 [-0.7 μm, 0.3 μm] 범위 내에 있었다; 보상 가공 후 마이크로 렌즈 어레이의 PV 값은 5.4 μm에서 0.6 μm로 감소하였다. 제안된 마이크로 렌즈 어레이 단일점 다이아몬드 선삭 가공 및 보상 방법은 오차 면 형상을 예측할 수 있으며, 면 형 정확도와 일관성을 현저히 향상시킨다.

초정밀 가공; 마이크로 렌즈 어레이; 단일점 다이아몬드 선삭; 슬로우 서보; 원위치 측정; 가공 보상