스캔 간섭 감광기의 가공 효율성과 가공 정밀도를 향상하고 가공 범위를 확대하며 유지보수 비용을 낮추기 위해 간섭 무늬의 주기, 방향 및 위상을 동기화하여 실시간 조절할 수 있는 스캔 간섭 감광기 시스템 방안을 제안하고, 가장 핵심적인 일정 광 강도 간섭 무늬 위상 잠금 시스템 설계를 중점적으로 소개하였다. 먼저 스캔 간섭 감광기에서 간섭 무늬의 주기, 방향 및 위상을 동기화하여 실시간 조절하는 시스템 원리를 소개하고, 일정 광 강도 외차 음향광 주파수 이동형 간섭 무늬 위상 잠금 제어 시스템을 설계 및 구현하였다. 이후 제어 시스템 이론 모델을 분석하고 시스템 실제 모델을 식별하여 고차 선형 피팅을 수행하며 시스템 컨트롤러를 설계하였다. 마지막으로 해당 컨트롤러를 기반으로 디버깅 및 무늬 잠금 제어를 진행하였다. 실험 결과, 무늬 잠금 제어를 활성화한 후 100 Hz 이하의 저주파 간섭 성분이 뚜렷하게 억제되고 간섭 무늬 위상 잠금의 잔여 오차가 0.0693 라디안(3σ)으로 위상 변화가 ±0.01 간섭 무늬 주기 미만임을 확인하였다; 광선 편향 제어 오차가 100 μm에 도달해도 간섭 무늬 잠금 성능은 안정적으로 유지되었다. 이 시스템은 다양한 간섭 자세에서 간섭 무늬를 고정밀로 잠글 수 있을 뿐만 아니라 광선 제어 오차 여유가 커서 간섭 무늬의 주기, 방향 및 위상을 동기화하여 실시간 제어하는 스캔 간섭 감광기의 요구를 충족한다.

스캔 간섭 감광; 무늬 잠금; 외차 위상 측정 간섭계