레이저 간섭 유도 후방 전송을 이용한 은 미세선 구조 제작

HAN Zhuang ,  

WENG Zhankun ,  

CAO Liang ,  

LIU Ri ,  

WANG Shenzhi ,  

CHU Xueying ,  

LI Jinhua ,  

WANG Zuobin ,  

摘要

레이저 간섭 유도 후방 전송(Laser Interference Induced Backward Transfer, LIIBT)을 이용한 미세구조 제작 공정 매개변수 최적화를 위해 레이저 펄스 수와 에너지 밀도가 LIIBT에 미치는 영향을 연구하였으며, 은 미세선의 형성 메커니즘을 분석하고 은 미세선 구조가 시프로플록사신의 라만 신호 증강 효과에 미치는 영향을 조사하였다. 수칼슘 유리를 수신 기판으로, 은 박막을 타겟으로 사용하여 대기 환경에서 이중 빔 LIIBT를 기반으로 은 미세선 구조를 제작하였다. 주사전자현미경(SEM) 테스트 결과, 펄스 수와 레이저 에너지 밀도가 증가함에 따라 은 미세선의 경계가 더욱 선명해졌으며, 에너지 분산 X선 분석(EDS) 결과 미세선 구조가 은 나노입자로 구성되어 있음을 확인하였다. 라만 테스트에서는 시프로플록사신 농도가 10-8 mol/L까지 낮아져도 해당 구조가 여전히 뚜렷한 표면 증강 라만 산란 효과를 나타내었다. 마지막으로 은 나노입자 전송 과정과 이차 펄스에 의한 미세선 구조 형성 메커니즘을 분석하였다. LIIBT 공정 매개변수를 최적화하여 은 미세선 구조를 제작함으로써 LIIBT 과정에서 은 미세선 구조 형성 메커니즘을 밝히고, 저농도 시프로플록사신에 대해 뚜렷한 표면 증강 라만 산란 효과를 검증하여 환경 오염 및 식품 공학 등 분야에서 항생제 잔류 물의 고감도 검출을 위한 기술적 지원을 제공하였다.

关键词

레이저 간섭 유도 후방 전송;미세선 구조;은 나노입자;표면 증강 라만 산란;시프로플록사신

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