광학, 정밀 가공 및 정밀 위치 측정 분야에서 마이크로/나노 기술의 응용을 연구하기 위해 선형 편요 복합형 압전 마이크로 구동 플랫폼이 제안되어 선형 운동과 편요 운동을 실현하였다. 플랫폼의 구성과 작동 원리를 설명하고 두 가지 운동의 수학 모델을 구축하며 운동 성능을 시뮬레이션하였다. 설계된 치수에 따라 시제품을 가공하고 시제품의 운동 능력과 주파수 응답 특성을 테스트하였다. 마지막으로 비례 적분 미분(PID) 피드백을 통해 플랫폼의 추적 제어를 실현하였다. 시뮬레이션 및 실험 결과는 해당 플랫폼이 우수한 운동 정밀도와 디커플링 특성을 가지며, 1차 고유 진동수가 333.8 Hz에 달하며, 24.924 μm의 선형 운동과 1.330 mrad의 각도 진동을 실현하여 마이크로/나노 수준의 운동을 가능하게 하여 정밀 광학 및 정밀 위치 측정 분야에서 광범위한 응용 전망을 가짐을 보여준다.

마이크로 구동 플랫폼;선형 운동;편요 운동;유연 구조;수학 모델