스펙트럼 위상 최대값을 이용한 적응형 홀로그램 정일급 스펙트럼 위치 결정

DANG Changying ,  

LI Jiansu ,  

ZHAO Pengfei ,  

XU Tai ,  

摘要

기존의 사전 템플릿 또는 기준 광파 기울기 각도에 의존하는 정일급 스펙트럼 영역 위치 결정 방법 문제를 해결하기 위해, 스펙트럼 위상 최대값을 이용한 적응형 위치 결정 홀로그램 정일급 스펙트럼 영역 방법을 제안하였다. 선행 증폭 디지털 홀로그램의 스펙트럼 위상 분포에 대한 이론적 분석을 수행한 결과, 스펙트럼 위상의 최대값이 정일급 스펙트럼 중심 위치에 있음을 알 수 있었다. 스펙트럼 위상의 최대값 지점과 홀로그램 스펙트럼 진폭의 세 영역(정일급, 부일급, 영급 스펙트럼 영역) 중심간 최소 거리를 이용하여 홀로그램 정일급 스펙트럼 영역을 판정 및 위치 결정하였다. 마지막으로, 미세 구멍 배열과 위상 계단을 샘플로 실험을 수행하였다. 실험 결과는 이론 분석과 일치하였으며, 위상 계단 측정의 횡방향 오차는 3.7 μm, 높이 표준 편차는 4.2%로, 사전 템플릿이나 기준 광파의 기울기 각도에 의존하지 않고 정일급 스펙트럼 영역 위치를 정확하게 위치시키며, 오프축 홀로그램 스펙트럼 필터링을 위한 스펙트럼 영역 적응형 위치 결정 방법을 제공한다.

关键词

디지털 홀로그램; 스펙트럼 위상; 스펙트럼 필터링; 정일급 스펙트럼; 위상 최대값

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