비회전대칭 차파면 열화 하에서의 간섭 일관성 이미징 수차

LÜ Sida ,  

LI Mingzhuo ,  

HU Haixiang ,  

XU Donglin ,  

ZHANG Xuejun ,  

摘要

간섭 보상 검출 시스템에서 보상 광로를 통해 전파되는 동안 검출 파면이 열화되어 간섭 일관성 이미징 수차가 불가피하게 도입되어 기기의 전달 함수가 고주파 대역에서 급격히 감소하여 검출 정밀도가 심각하게 제한된다. 간섭 일관성 이미징 수차 모델을 구축하여 파면 공간 주파수 정보가 간섭 일관성 이미징 수차의 영향을 받아 열화되는 메커니즘을 밝히고, 비회전대칭 파면 전파 이론을 제안하여 비회전대칭 파면의 진화 기전을 설명하였다. 이후 미세 광선 추적과 파면 진화의 혼합 분석 방법을 결합하여 간섭 일관성 이미징 수차의 수학적 모델을 구축하였고, 비회전대칭 차파면 전파 조건 하에서 변조 함수의 수치화를 실현했으며, 초점 이탈량과 파면 분포의 함수 관계를 추가로 확립하였다. 마지막으로 간섭 보상 검출 시스템을 이용하여 모델의 실험적 검증을 완료하였다. 실험 결과 실제 값과 예상 값의 잔차가 모두 0.05 파장 이하였으며, 모델의 대칭 평균 절대 백분율 오차(SMAPE)는 8.26%, 평균 상대 오차(MRE)는 3.35%로 애리조나 대학교에서 제안한 Talbot 효과와 프레넬 회절 분석 기반 이론 모델에 비해 더 나은 적합도를 보였다. 이를 통해 모델의 정확성과 예측 가능성이 검증되었으며, 이 모델은 간섭 보상 검출의 검출 정밀도 향상에 중요한 의의를 가진다.

关键词

광학 검출;간섭 보상 검출;차파면 열화;간섭 일관성 이미징 수차

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