摘要
마이크로 전기기계 시스템(MEMS) 마이크로 압력 압력 센서의 감도를 향상시키기 위해 실리콘 압력 저항식 압력 센서의 작동 원리에 따라 압력 센서 감도에 영향을 미치는 주요 요인을 소개하였다. COMSOL Multiphysics 유한 요소 해석 소프트웨어를 사용하여 압력 감지 막 두께, 압력 저항 배치 위치 및 압력 저항 길이가 감도에 미치는 영향을 연구하였다. 시뮬레이션 결과에 따라 압력 감지 막 두께를 15 μm로 줄이고, 압력 저항 길이를 120 μm로 설정하였으며, 압력 저항을 압력 감지 막 가장자리에서 10 μm 떨어진 위치에 배치하여 측정 범위가 40 kPa인 MEMS 실리콘 압력 저항 마이크로 압력 센서의 구조 최적화를 완료하여 센서의 감도를 효과적으로 향상시켰다. 테스트 결과 센서의 감도가 0.444 mV/kPa에 도달하였으며, 동일 측정 범위의 기존 압력 센서 감도인 0.35 mV/kPa에 비해 26.8% 향상되었다. 위 최적화 결과는 MEMS 마이크로 압력 센서의 고감도 및 높은 직선성 요구 사항을 기본적으로 충족한다.
关键词
마이크로 전기기계 시스템;마이크로 압력 센서;COMSOL Multiphysics;감도 최적화
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