반응 소결 실리콘 카바이드(Reaction Bonded SiC, RB-SiC)는 밀도가 낮고 열전도율이 높으며 열 안정성이 우수한 뛰어난 성능으로 인해 이상적인 우주 대형 반사경 제조 재료로 인정받고 있다. 그러나 성형 후 표면 정밀 가공 과정에서 가공 손상이 쉽게 발생하므로 본 논문에서는 연성 스크래치 실험을 수행하여 사포 벨트 연성 연삭 공정이 해당 재료 가공 성능에 미치는 영향을 탐구하였다. 단일 다이아몬드 연마입자를 이용한 강성/연성 두 가지 접촉 상태에서 RB-SiC 재료의 스크래치 비교 실험 연구를 통해 연성 스크래치 하에서 평균 아표면 손상률이 0.677로 나타났고, 강성 스크래치 하에서는 0.823으로 나타났다. 이를 바탕으로 다양한 법선 압력, 연마입자 각도, 스크래치 속도 등의 조건에서 직교 스크래치 실험 연구를 수행한 결과, 법선 압력과 연마입자 각도가 재료 손상에 더 중요한 영향을 미치는 것으로 나타났다. 동시에 법선 압력이 증가하고 연마입자 각도가 감소하며 스크래치 속도가 증가함에 따라 재료 손상 정도가 증가하는 것으로 나타났다. 마지막으로 다중 다이아몬드 연마입자 스크래치 실험 연구를 통해 단일 다이아몬드 연마입자 스크래치와 비교할 때, 재료 표면에 심각한 파손 및 손상이 없고 아표면 손상층의 깊이가 10μm보다 작다는 결론을 도출하였다. 본 연구는 사포 벨트 연성 연삭 가공에서 반응 소결 실리콘 카바이드 재료 가공에 대한 기초적인 지침을 제공할 것이다.

반응 소결 실리콘 카바이드;다이아몬드 연마입자;손상;스크래치력