효율적이고 결함이 적은 용융 석영 소자의 가공을 실현하기 위해, 자기 보조 연마 기술을 기반으로 한 소자 재료 제거 특성과 표면 품질 형성 메커니즘을 연구하였다. 다양한 연마 간격과 다양한 철분 체적비를 갖는 자기 연마액을 사용하여 연마된 용융 석영 소자에 자기 보조 연마를 수행하였고, 소자 재료 제거율, 연마 반점 윤곽, 표면 거칠기 및 투과율을 평가하였다. 공간 자기 유도 강도 시뮬레이션과 연마 압력 분석을 결합하여 가공 매개변수가 소자 가공 효율과 표면 품질에 미치는 영향 규칙을 규명하였다. 결과는 공간 자기 유도 강도의 증가에 따라 재료 깊이 제거율이 거듭제곱 함수적으로 증가하고 연마액 내 철분 체적비 증가에 따라 현저히 향상됨을 보여주었다. 낮은 공간 자기장 강도와 낮은 철분 체적비의 연마액은 화학적 제거를 주로 하는 자기 보조 탄성 연마를 촉진하여 매끄러운 표면을 얻는 데 유리하다. 작은 연마 간격(0.5 mm)과 높은 철분 체적비(14.18%)의 연마액은 최대 재료 깊이 제거율 0.4392 μm/min와 부피 제거율 1.49×10⁻⁴ mm³/min을 달성할 수 있으며, 큰 연마 간격(1.5 mm)과 낮은 철분 체적비(9.93%)의 연마액은 거칠기 Rₐ 8.1 nm까지 부드러운 표면을 얻을 수 있다.

자기 보조 연마;연마 간격;철분 체적 비율;재료 제거율;거칠기