구조 최적화된 광 주소 지정 전위 센서 연구 동향

TAN Jie ,  

LIU Shibin ,  

LUO Jiezhang ,  

CHEN Yinghao ,  

Du Yongqian ,  

摘要

광 주소 지정 전위 센서(Light Addressable Potentiometric Sensor, LAPS)는 전위형 반도체 전계 효과 센서로서 민감도가 높고 비용이 저렴하며 제작이 간단한 장점이 있어 무표지 생화학 물질 검사 및 2차원 생화학 물질 농도 분포 시각화 분석의 중요한 도구로 발전해왔다. 절연층에 존재하는 함정 전하, 반도체층의 광변환 효율 저하, 시스템 내 잡음 간섭 및 검출 신호 교란 등의 영향으로 인해 LAPS의 민감도, 선형성, 공간 해상도 및 측정 속도가 제한된다. 따라서 LAPS의 구조적 최적화는 검출 성능 향상에 도움이 된다. 본문에서는 먼저 LAPS의 원리와 센서의 구조 및 작동 원리, LAPS 기반 측정 시스템과 측정 모드를 소개하고, 이후 구조적 최적화의 진행 상황과 관련 응용을 분석하며, 마지막으로 LAPS 검출 성능 향상을 위한 구조 최적화 요점을 정리하고 향후 연구의 돌파점과 핵심 사항을 전망한다.

关键词

광 주소 지정 전위 센서;무표지;2차원 농도 분포 시각화;구조 최적화

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